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Semiconductor

Wafer Indexer
Industry : Semiconductor
Application : Vision - Guide/Align
Product : EFEM (LCOS PI Line)
Benefit : 생산 자동화

개요

  Full Automation : Wafer Mapping,

     Pre-Alignment, Wafer ID Reading

공정 모니터링 기능

전체 라인 모니터링 기능

(Loader à Cleaner à Buffer à Coater  à Unloader)

OS : Windows 2000 

개발 내용

 GUI

 Data Manager   

■ Scheduler     

 Motion Module

 Vison Module

개발 이미지


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