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Semiconductor

Etcher
Industry : Semiconductor
Application : Vision - Guide/Align
Product : 반도체
Benefit : 생산 자동화

개요

Full Automation : Wafer Mapping, Pre-Alignment, Etching Processing

Recipe에 의한 공정 흐름 제어 

Process Monitoring 기능 제공

OS : Window2000 

개발 부분

 GUI

 Data Manager

 Scheduler

 I/O Control

개발 이미지


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