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Semiconductor

Hyper Cleaning Module
Industry : Semiconductor
Application : Monitoring
Product : Wafer
Benefit : 생산 자동화

개요

고 청정 Wafer 세척 & 재생

Cassette에 대한 멀티 Recipe 입력 기능

최적화된 Schedule 관리 기능

모든 History DataDB관리

Easy Teaching 기능 채용

  실시간 Unit 모니터링

개발 부분

 GUI

 Data Manager

 Scheduler

 PMC Control

 Communication

개발 이미지


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