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Semiconductor

Wafer Inspection(Spin Etcher)
Industry : Semiconductor
Application : Vision-Inspection
Product : Wafer
Benefit : 결함 제거

개요

Spin Etching 공정 후 Wafer 검사

검사항목

  - Wafer Diameter 측정

    (정밀도 : 0.0039mm/pixel)

  - Bevel, EEW Size 측정

    (정밀도 : 0.0039mm/pixel)

  - 잔류 막질 검사

  - 측정 결과 Main장비로 통신 전달

개발 부분

 GUI

 Data Manager

 Scheduler

 Vision Module

 Communication

개발 이미지


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